대한불교조계종 직할교구 본사인 조계사(曹溪寺)의 말사이다. 1872년에 신도 고상진(高尙鎭)이 창건하여 '소란야(小蘭若)'라고 하였다.

창건에 앞서 한양에 살았던 신도 박선묵(朴銑默)과 유성종(劉聖鐘)·서윤구(徐潤龜)·고상진·이원기(李元基)·장윤구(張潤九)·유재호(劉在護) 등 7인은 1870년 봄에 함께 발심(發心)하여 현재의 절에 있는 천태굴(天台窟)에서 3일 동안 독성기도(獨聖祈禱)를 마치고 절의 창건을 약속하였는데, 그 약속을 이행하여 1872년에 창건한 것이다.

그 뒤 1881년에 박선묵이 독성각(獨聖閣)을 신축하고 절 이름을 삼성암으로 바꾸었으며, 1936년에는 동운(東雲)이 신도 김용태(金容泰)의 시주를 얻어서 칠성각(七星閣)을 중건하였다. 1942년 7월 폭우로 인한 산사태로 절이 무너지게 되자 화계사(華溪寺) 주지 회경(會鏡)이 중창의 뜻을 세워 중현(重玄)·성섭(性攝)과 함께 대방 12칸을 세웠으며, 1943년 7월에는 혜운(慧雲)이 독성각을 다시 세웠다.

현존하는 당우(堂宇)는 1961년부터 본공(本空)·세민(世民)이 중건하고 보수하였는데, 법당인 대웅전을 중심으로 칠성각·독성각·범종각·일주문·요사채 등이 있다. 이 절은 청도 운문사(雲門寺) 사리암(舍利庵) 등과 함께 대표적인 독성기도처로 널리 알려져 있다