성주암은 정확한 역사적 문헌이 없어 고증에 어려움은 있지만 구전에 의하면 신라시대 원효대사가 창건한 이래 각진국사, 서산대사, 처용대사등의 고승들이 정진하던 고찰로서 과거 관악산 내 삼막사, 망월암, 호압사, 반월암, 염불암, 상불암, 안양사 등 관악산내 19암자중 하나로서 사찰경내지에서 출토된 그릇파편과 명문기와 중 태정원년(太正元年)으로 표기된 다수의 기와로 보아 고려 충숙왕 2년을 전후해서 도량이 번성하였던 것으로 추정된다.